Como objetivo general, este trabajo pretende analizar y optimizar las variables de diseño de un transductor piezoresistivo sobre membrana de polisilicio de alta sensibilidad, para su integración en un sensor/actuador capacitivo fabricado con la tecnología MetalMUMPs de MEMSCAP. Por lo tanto, se establecen como objetivos específicos:

1. Simular y analizar el comportamiento mecánico de una membrana de polisilicio integrada en un dispositivo diseñado para su fabricación en tecnología MetalMUMPs.

2. Simular y analizar el comportamiento eléctrico de un conjunto de piezoresistencias ubicadas en la capa de polisilicio de dicho dispositivo.

3. Ajustar y optimizar los parámetros de diseño de las piezoresistencias para obtener un transductor de alta sensibilidad.

4. Implementar el transductor piezoresistivo con tecnología MetalMUMPs para la calibración tecnológica.

Como se observa a través de este conjunto de objetivos, la finalidad es la calibración tecnológica de sensores/actuadores basados en membranas en tecnología MetalMUMPS de MEMSCAP. Sin lugar a dudas, los errores sistemáticos que se deriven de las simulaciones han de estar controlados, mientras que los aleatorios —dispersión de proceso— se analizan con la calibración tecnológica.
La principal fuente de error sistemático, proviene de aquellos detalles constructivos que no han sido tenidos en cuenta en las simulaciones numéricas, bien por ser de segundo orden o superior, o bien por las propias limitaciones de recursos de computación.

• Presidente: Francisco José Guerra Santana
• Secretario: Benito González Pérez
• Vocal: Javier García García